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闕端麟——為半導(dǎo)體材料研究和九三學(xué)社事業(yè)奮斗一生的中科院院士


闕端麟,1928年5月生在福建福州。九三學(xué)社社員,教授,著名半導(dǎo)體材料學(xué)家,中國(guó)科學(xué)院院士。歷任浙江大學(xué)電機(jī)系實(shí)驗(yàn)室主任、無線電系半導(dǎo)體材料與器件教研室副主任、材料科學(xué)與工程系副主任、半導(dǎo)體材料研究室主任、半導(dǎo)體材料研究所所長(zhǎng)、浙江大學(xué)副校長(zhǎng)、校務(wù)委員會(huì)副主任。曾任第六屆全國(guó)政協(xié)委員,第七屆全國(guó)人大代表;政協(xié)浙江省第四屆委員會(huì)委員,第七、八屆委員會(huì)副主席。九三學(xué)社第八屆中央委員會(huì)委員,第九、十屆中央委員會(huì)常委;九三學(xué)社浙江省第一、二屆委員會(huì)副主委,第三、四屆委員會(huì)主委,第五屆委員會(huì)名譽(yù)主委。曾兼任浙江省自然科學(xué)基金委員會(huì)副主任、浙江省學(xué)位委員會(huì)副主任和浙江省人民政府經(jīng)濟(jì)建設(shè)咨詢委員會(huì)委員,國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)第二、三、四屆非金屬材料學(xué)科評(píng)審組組長(zhǎng),國(guó)家科委發(fā)明委員會(huì)特邀評(píng)審員,國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)半導(dǎo)體學(xué)科評(píng)審組組長(zhǎng),浙江省科協(xié)第六、七屆主席等職。2014年12月在杭州逝世。

半個(gè)多世紀(jì)間,闕端麟為我國(guó)半導(dǎo)體材料研究與生產(chǎn)轉(zhuǎn)化,為多黨合作事業(yè)特別是九三學(xué)社事業(yè)傾注了大量心血,作出了重要貢獻(xiàn)。

從半導(dǎo)體材料研究的先行者到中科院院士

1928年5月,闕端麟出生在福建福州,23歲從廈門大學(xué)畢業(yè)后留校任教。1953年院系調(diào)整,從此,他成為浙江大學(xué)的一名教學(xué)科研工作者。在浙大,他先后擔(dān)任過電機(jī)系實(shí)驗(yàn)室主任、無線電系半導(dǎo)體材料與器件教研室副主任、材料科學(xué)與工程學(xué)系半導(dǎo)體材料研究室主任、材料系副主任、半導(dǎo)體材料研究所所長(zhǎng),后來還當(dāng)過副校長(zhǎng)、校務(wù)委員會(huì)副主任。作為電機(jī)系的一名教師,他一開始的研究方向并不是半導(dǎo)體。當(dāng)時(shí),他為學(xué)生開設(shè)了一門新課——電工材料,其中包含半導(dǎo)體相關(guān)內(nèi)容。在教學(xué)研究過程中,他發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體材料是一個(gè)新的科研發(fā)展方向,從此與半導(dǎo)體材料研究結(jié)緣。

1957年,“發(fā)展半導(dǎo)體事業(yè)”被列入新中國(guó)第一個(gè)十二年科學(xué)發(fā)展規(guī)劃,包括浙大在內(nèi)的不少高校開始創(chuàng)辦半導(dǎo)體材料方面的專業(yè)。闕端麟作為浙大半導(dǎo)體材料與器件專業(yè)的創(chuàng)始人和骨干教師之一,先后為本科生、研究生開設(shè)過十多門課程,其中多門課程是在沒有教科書,甚至沒有系統(tǒng)參考書的情況下,由他首先收集資料開設(shè)的。由于基礎(chǔ)扎實(shí)、知識(shí)面寬、根底深厚,他講課總是能深入淺出,語言精練而生動(dòng),頗得學(xué)生好評(píng)。他注意理論聯(lián)系實(shí)際,在教學(xué)過程中一貫重視培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)踐和實(shí)驗(yàn)?zāi)芰?。在他的?yán)格訓(xùn)練下,很多學(xué)生具備了較強(qiáng)的科研實(shí)驗(yàn)?zāi)芰?,后來成長(zhǎng)為各單位的業(yè)務(wù)骨干和領(lǐng)導(dǎo)。他非常重視培養(yǎng)、提攜年輕人,一些重要的科研成果取得初步成功后,就及時(shí)吸收年輕人一起參加研究改進(jìn)工作,甚至讓他們?cè)诔晒夹g(shù)鑒定會(huì)上作研制報(bào)告。

闕端麟是我國(guó)自己培養(yǎng)的專家,他深信在中國(guó)的土地上能夠做出自己的貢獻(xiàn)。幾十年的攀登拼搏,換來了一項(xiàng)又一項(xiàng)成果、發(fā)明,為中國(guó)人爭(zhēng)了光。在科研道路上闖過了坎坎坷坷的闕端麟深深體會(huì)到,自力更生精神在科技工作中的體現(xiàn),不僅僅是艱苦奮斗,它更深刻的含義在于利用中國(guó)現(xiàn)有條件,去爭(zhēng)取高水平的成果。他對(duì)前人的經(jīng)驗(yàn)和結(jié)論并不盲從,而是獨(dú)立思考,批判地吸收,從而有所發(fā)現(xiàn)、有所創(chuàng)造、有所前進(jìn)。

1954年,闕端麟開始著手研究溫差電半導(dǎo)體材料,并制成了我國(guó)第一臺(tái)溫差發(fā)電機(jī)。半導(dǎo)體材料當(dāng)中,硅材料是產(chǎn)量最大、用途最廣的一種。但當(dāng)時(shí),國(guó)內(nèi)硅材料研發(fā)面臨技術(shù)瓶頸。1959年,闕端麟開始探索提純硅烷及制備高純硅技術(shù)。由于經(jīng)費(fèi)有限,當(dāng)時(shí)很多實(shí)驗(yàn)儀器只能自己動(dòng)手做,闕端麟自己就吹制過玻璃制品等零件。為了防止實(shí)驗(yàn)中發(fā)生爆炸傷人,他用鐵絲網(wǎng)把實(shí)驗(yàn)設(shè)備罩起來。面對(duì)資金緊張、設(shè)備簡(jiǎn)陋、硅烷容易爆炸等重重困難,他和課題組一步步改進(jìn)實(shí)驗(yàn)方法,終于在1964年實(shí)驗(yàn)室取得高純硅單晶。隨后在浙江大學(xué)組成了擴(kuò)大的研究課題組,于1970年完成了高純硅烷及多晶硅生產(chǎn)的成套技術(shù)研究。這項(xiàng)技術(shù)工藝簡(jiǎn)單,流程短,易于保證高純度,成為我國(guó)生產(chǎn)高純硅烷的主要方法。1968年,他首次為國(guó)內(nèi)提供了電子工業(yè)急需的純硅烷氣體。

闕端麟所在的課題組通過參加國(guó)家“六五”、“七五”重點(diǎn)科技攻關(guān),在高純硅和硅烷等高純技術(shù)上處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位,并接近或達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。 為配合國(guó)家“六五”科技攻關(guān),他又研制了硅單晶導(dǎo)電型號(hào)儀、紅外光源硅單晶少子壽命儀,指導(dǎo)研制了硅單晶電阻率測(cè)試儀,形成了高純硅的成套技術(shù),并且使硅單晶的常規(guī)測(cè)試技術(shù)和測(cè)試儀器的性能指標(biāo)達(dá)到世界先進(jìn)水平。20世紀(jì)80年代是闕端麟在科研上豐收的時(shí)期,除高純硅和測(cè)試技術(shù)、測(cè)試儀器外,還在硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)方面取得了實(shí)質(zhì)性進(jìn)展,“氮保護(hù)氣氛直拉硅單晶”的研究成功,打破了國(guó)外同行專家“不可能采用氮?dú)庾霰Wo(hù)氣氛拉制硅單晶”的結(jié)論,取得了6項(xiàng)發(fā)明專利,經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益十分顯著。“減壓充氮直拉硅單晶技術(shù)”被《科技日?qǐng)?bào)》評(píng)選為我國(guó)1987年10項(xiàng)重大科技成果之一,1988年該成果又在布魯塞爾舉行的第37屆尤里卡世界發(fā)明博覽會(huì)上獲金牌獎(jiǎng);1989年獲國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

闕端麟在研究工作中有兩個(gè)特色:一是在選題上有自己獨(dú)到的見解;二是他一貫重視科研與生產(chǎn)的緊密結(jié)合,將科研成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力。他在確定研究方向和選題時(shí)所遵從的原則是:既要尋找有發(fā)展前途的高水平課題,又要照顧到本單位乃至我國(guó)所具備的實(shí)際條件,量力而行。20世紀(jì)70年代,他經(jīng)過深思熟慮,由研究溫差電材料,轉(zhuǎn)而選擇了量大面廣、性能優(yōu)良的硅材料作為研究方向,邁出了關(guān)鍵的一步;30多年后,他在浙大建成了以高純硅材料為特色的國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。他認(rèn)為,科學(xué)研究不能“人云亦云”、“湊熱鬧”,搞低水平的重復(fù)。在了解和研究前人及同時(shí)代人工作的基礎(chǔ)上,必須要有自己的思想和獨(dú)特的技術(shù)思路,才會(huì)有所建樹。這些思想促使他選題方向正確,且富有創(chuàng)造性,往往取得顯著成果。

闕端麟不僅重視科研與生產(chǎn)相結(jié)合,而且積極主張努力發(fā)展校辦產(chǎn)業(yè),他的多項(xiàng)成果一經(jīng)鑒定就直接轉(zhuǎn)入浙江大學(xué)半導(dǎo)體廠生產(chǎn),工廠所創(chuàng)造的經(jīng)濟(jì)效益又用來支持學(xué)科和實(shí)驗(yàn)室建設(shè),形成了生產(chǎn)與學(xué)科建設(shè)緊密結(jié)合的思路。在此思路的指導(dǎo)下,半導(dǎo)體廠發(fā)展很快,1995年國(guó)務(wù)院發(fā)展研究中心授予半導(dǎo)體廠“中華之最”榮譽(yù)稱號(hào)。

在建設(shè)浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料學(xué)科過程中,闕端麟帶領(lǐng)一班人四處奔波。作為高純硅國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)帶頭人、浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料專業(yè)創(chuàng)始人,他苦心經(jīng)營(yíng),把幾個(gè)人的科研小組發(fā)展成集教學(xué)、科研、生產(chǎn)于一體的近百人的集體,建立了一支老中青相結(jié)合的學(xué)術(shù)梯隊(duì),創(chuàng)立了擁有數(shù)億元固定資產(chǎn)的基地,為學(xué)科發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料學(xué)科是國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)批準(zhǔn)的第一批碩士學(xué)位授予點(diǎn)和第一個(gè)半導(dǎo)體材料工學(xué)博士學(xué)位授予點(diǎn),1988年又被評(píng)定、批準(zhǔn)為國(guó)家教委重點(diǎn)學(xué)科。1985年國(guó)家計(jì)委批準(zhǔn)在浙江大學(xué)建設(shè)高純硅國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,1987年建成并對(duì)外開放。它具備了較好的從事半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體器件教學(xué)、研究的條件,已成為培養(yǎng)高質(zhì)量人才、出高水平成果的基地。

闕端麟學(xué)識(shí)淵博,誨人不倦,平易近人,師德高尚,他愛黨愛國(guó),刻苦攻關(guān),碩果累累。1956年,他被評(píng)為浙江大學(xué)先進(jìn)工作者,1983年被評(píng)為浙江省五講四美為人師表優(yōu)秀教師,1986年被評(píng)為國(guó)家級(jí)有突出貢獻(xiàn)的中青年專家,1988年獲浙江省勞動(dòng)模范稱號(hào),1990年被評(píng)為全國(guó)高等學(xué)校先進(jìn)科技工作者,同年獲全國(guó)“五一”勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆?991年,闕端麟當(dāng)選為中科院院士。

擔(dān)任九三學(xué)社省委會(huì)主委,為浙江發(fā)展殫精竭慮

1984年,闕端麟加入九三學(xué)社。1992年他當(dāng)選為九三學(xué)社浙江省第三屆委員會(huì)主委,后來又連任第四屆主委。作為參政黨地方組織負(fù)責(zé)人,如何提高九三學(xué)社社員們的參政議政水平,更好地為浙江省經(jīng)濟(jì)發(fā)展服務(wù),始終是懸在他心頭的重要問題。 經(jīng)過反復(fù)思考和與九三學(xué)社同仁商討后,他決定選擇一批與全省經(jīng)濟(jì)建設(shè)有密切關(guān)系的課題,并做深入的調(diào)查研究,將高質(zhì)量的調(diào)研報(bào)告提供給浙江省委、省政府作決策參考。浙江地處東南沿海,氣象災(zāi)害頻繁,他提議由九三學(xué)社省委會(huì)委托社內(nèi)氣象災(zāi)害專家著手研究。經(jīng)過數(shù)月的認(rèn)真調(diào)研,終于完成了這一課題,并以此為基礎(chǔ)形成團(tuán)體提案。在浙江省政協(xié)七屆二次全會(huì)上,九三學(xué)社省委會(huì)作了題為《強(qiáng)化減災(zāi)意識(shí),加強(qiáng)科學(xué)研究》的大會(huì)發(fā)言,呼吁加強(qiáng)對(duì)全省自然災(zāi)害預(yù)防的資金投入和科學(xué)研究。這個(gè)提案受到浙江省政府有關(guān)部門的重視,并被評(píng)為1994年度省政協(xié)優(yōu)秀提案。

“三農(nóng)”問題是闕端麟長(zhǎng)期思考的一個(gè)問題。1995年,他提議九三學(xué)社省委會(huì)應(yīng)配合浙江省委、省政府對(duì)我省農(nóng)業(yè)問題進(jìn)行調(diào)研,研究農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化問題。在闕端麟第一任主委期間,九三學(xué)社省委會(huì)調(diào)研組先后五次深入蕭山、寧波、湖州和鄞縣、安吉等地,對(duì)農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)行調(diào)研。同時(shí),發(fā)動(dòng)9個(gè)省轄市及3個(gè)縣級(jí)市的九三學(xué)社組織對(duì)這一問題同步進(jìn)行調(diào)查研究,又召集農(nóng)業(yè)專家進(jìn)行研討,最后形成了《關(guān)于我省農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化問題的調(diào)查報(bào)告》,上報(bào)浙江省委?!秷?bào)告》就我省農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化的成績(jī)、存在的主要問題作了較詳細(xì)的分析,并提出了對(duì)我省農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化的幾點(diǎn)意見和建議,受到高度重視。時(shí)任浙江省委書記李澤民作了重要批示:“九三學(xué)社浙江省委會(huì)關(guān)于我省農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化問題的調(diào)查,內(nèi)容翔實(shí),建議大體可行。農(nóng)業(yè)產(chǎn)業(yè)化問題符合黨的五中全會(huì)提出的實(shí)施兩個(gè)根本性轉(zhuǎn)變的要求,也符合我省實(shí)際,這方面我們已有一定基礎(chǔ)和成功經(jīng)驗(yàn),調(diào)查報(bào)告的意見和建議,請(qǐng)錫榮同志和省農(nóng)村工作辦公室、農(nóng)業(yè)廳認(rèn)真研究并采納。”

2001年,九三學(xué)社省委會(huì)根據(jù)一名社員的建議,組織力量研究論證,最終形成提案《修建錢塘江過江隧道迫在眉睫》,得到時(shí)任浙江省省長(zhǎng)柴松岳的批示:“文章中闡述的理由充分,建議中肯。”時(shí)任浙江省副省長(zhǎng)盧文舸將該材料批轉(zhuǎn)給杭州市政府,修建錢塘江過江隧道被納入杭州市城市總體規(guī)劃。2010年12月27日,被譽(yù)為“錢江第一隧”的杭州市慶春路過江隧道實(shí)現(xiàn)通車,錢塘江結(jié)束無隧道的歷史,形成了江上架橋、江面行船、江底通隧的立體交通格局。

為了促進(jìn)杭州高新技術(shù)開發(fā)區(qū)的建設(shè),闕端麟還帶隊(duì)去蘇魯皖三省對(duì)國(guó)家級(jí)高新技術(shù)開發(fā)區(qū)作專題考察。他多次就我省高新技術(shù)企業(yè)的興起與機(jī)電產(chǎn)品出口問題、如何加強(qiáng)國(guó)有企業(yè)的制度建設(shè)與監(jiān)督、人才培養(yǎng)、自然科學(xué)基金等問題向浙江省委、省政府領(lǐng)導(dǎo)坦陳進(jìn)言。

闕端麟擔(dān)任主委期間,九三學(xué)社省委會(huì)與四川廣元的“九廣合作”影響較大。四川邊遠(yuǎn)地區(qū)希望他們能夠提供幫助,他們經(jīng)商討后,與娃哈哈集團(tuán)公司聯(lián)系,雙方一拍即合,娃哈哈隨即到廣元設(shè)廠,做成了這件事。他們還促成了杭州正大青春寶藥業(yè)在廣元設(shè)廠、義烏小商品城在廣元建設(shè)分市場(chǎng),這些項(xiàng)目在廣元當(dāng)?shù)囟嫉玫搅撕芎玫男б婧头错憽?/p>

在平時(shí),闕端麟經(jīng)常思考如何用好九三學(xué)社專家們的專業(yè)優(yōu)勢(shì)服務(wù)社會(huì)。從1997年起,九三學(xué)社省委會(huì)組織了社內(nèi)專家學(xué)者組成教授育英團(tuán),到中學(xué)傳播科學(xué)知識(shí),弘揚(yáng)科學(xué)精神。如2001年4月,他去杭州學(xué)軍中學(xué)作了題為《近現(xiàn)代科技體系發(fā)展的思考》的報(bào)告。在他看來,九三學(xué)社社員在科學(xué)技術(shù)上多有發(fā)明創(chuàng)造,各種科技獎(jiǎng)項(xiàng)也經(jīng)常為九三學(xué)社社員所獲得,這是一個(gè)優(yōu)勢(shì)。九三學(xué)社組織要多發(fā)展學(xué)術(shù)上有所作為的同志,多關(guān)心這些同志,把各種人才吸收進(jìn)來,進(jìn)一步把這個(gè)優(yōu)勢(shì)發(fā)揮好。

通過闕端麟和各方面的共同努力,九三學(xué)社浙江省委會(huì)的工作得到了浙江省委、省政府、省政協(xié)的重視,得到了九三學(xué)社中央的充分肯定。那十年,他身兼多職,非常忙,經(jīng)常有多項(xiàng)工作要同時(shí)處理,但他始終盡可能抽出更多時(shí)間和精力放在九三學(xué)社事業(yè)的發(fā)展上。

2014年12月17日15時(shí),闕端麟因病醫(yī)治無效在杭州逝世,享年87歲。半個(gè)多世紀(jì)間,闕端麟為我國(guó)半導(dǎo)體材料研究與生產(chǎn)轉(zhuǎn)化,為多黨合作事業(yè)特別是九三學(xué)社事業(yè)傾注了大量心血,作出了重要貢獻(xiàn)。他的一生,是為半導(dǎo)體材料研究和九三學(xué)社事業(yè)奮斗的一生。

(趙威根據(jù)資料整理 )